真空爐在模具生產中發揮著不可替代的作用，主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。 真空爐的真空熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釬焊、燒結、表面處理等。真空爐熱效率高，可實現快速升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。

 一般來說，被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小。產品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作的機械性能和使用壽命。工作環境好，操作安全，沒有污染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險，真空回火爐對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。這一系列的優點，油淬真空爐開發真空熱處理設備和工藝被越來越重視和應用越來越廣。

真空熱處理即真空技術與熱處理兩個專業相結合的綜合技術，真空回火爐是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的。油淬真空爐我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。

真空爐和中頻電爐在熱加工領域有著很好的發展前景，用于：透熱、軋制、鍛造、彎管、熱處理（淬火）、焊接等工藝的感應加熱。

1.真空爐處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。

2.真空爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分均通水冷卻。

3.工件在真空狀態下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。

4.真空爐的保養應在真空或充純氮狀態下，避免平時不用時吸氣，吸潮。

5.國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業的標準為0.67Pa/h   

6.真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距。   

7.升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。

8.真空回 火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規處理時加熱溫度相同。

9.真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。

10.冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，真空回火爐高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。

11.升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱。